高技术新材料——MOCVD用的金属有机化合物的研制

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摘要一、MOCVD研究动态目前世界上半导体新材料实验室正在大力研究和开发一种用金属有机化合物制造激光二极管、太阳能电池、光阴极和其他半导体薄膜材料的工艺——MOCVD(MetallorganicChemical Vapor Deposition Process),又称OMVPE(Organometallics for Vapor Phase Epitaxy),就是用有机金属汽相沉积(或外延)方式生成非常高品质的半导体薄膜。实际证明MOCVD工艺具有用先进装置进行生产的发展潜力。

作者周伟克钱长涛

机构地区中国科学院上海有机化学研究所

出处《化学进展》 SCIE CAS CSCD 1989年第1期42-44,共3页 Progress in Chemistry

关键词 MOCVD 半导体薄膜金属有机化合物激光二极管微电子工业光阴极汽相有机金属隧道二极管发展潜力

分类号 O6 [理学—化学]

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化学进展

1989年第1期

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