红外线与紫外线
摘要
红外发光二极管辐射强度的测量;极端远紫外光刻的等离子体光源及其光学性质研究.
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5Chris putnam,Jacek K.Tyminski,Robert Batterson,Antonio Gallo,立文.精密远紫外光刻中的对准优化[J].电子工业专用设备,2001,30(4):31-36.
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6童志义.远紫外光刻现状及未来[J].电子工业专用设备,1997,26(2):5-11. 被引量：1
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9迈克.伍德,姚涵春.质量还是数量——固态光源在演艺灯光行业的应用[J].演艺科技,2011(6):29-46.
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10陈建强,张智光,张旨遥,周晓军.光生等离子体光源照射阵列的设计[J].实验科学与技术,2008,6(4):151-153.
