激光分子束外延和关键技术研究被引量：6

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摘要较为系统地介绍了一台激光分子束外延的总体结构和关键技术研究 .同时使用该设备和技术 ,实现精确控制原子尺度外延生长 ,获得原子尺度光滑表面的氧化物外延薄膜等实验结果 .

作者杨国桢吕惠宾陈正豪崔大复王会生杨海清缪风英周岳亮李林

机构地区中国科学院物理研究所中国科学院凝聚态物理中心中国科学院凝聚态物理中心国家超导实验室

出处《中国科学（A辑）》 CSCD 1998年第3期260-265,共6页 Science in China(Series A)

基金国家自然科学重点基金资助项目!(批准号 :6 94370 10 ) 中国科学院和国家超导中心资助项目

关键词激光分子束外延 PLD 外延生长薄膜制备

参考文献1

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中国科学（A辑）

1998年第3期

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