摘要
接近式光刻刻划间隙的确定＊付永启（中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室长春１３００２２）０前言接近式光刻法是目前常用的光刻方法之一，该方法由于具有效率高、不损伤毛坯感光胶面等优点而被广泛采用，但该方法也有一缺点长期困扰着人们，这就是...
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第4期417-420,433,共5页
Chinese Journal of Scientific Instrument
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