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悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展 被引量：6

Key technology,innovation design and current development of micro gyroscope with levitation rotor
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摘要 分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术关键,提出了悬浮转子式微陀螺的多种实现方案和技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展。 The principle and key technology of micro gyroscope with a levitation rotor is analyzed.Many kinds of schemes and key are given.And the current development of micro gyroscope is also summarized.
作者 张卫平 陈文元 赵小林 吴校生 崔峰 刘武 黄晓刚 肖奇军 马高印 张忠榕
机构地区 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
出处 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期721-728,共8页 Journal of Functional Materials and Devices
基金 国家自然科学基金(60402003) 武器装备预研基金(9140A09020706JW0314)的支持
关键词 悬浮转子微陀螺 技术关键 方案 最新进展 micro gyroscope with a levitation rotor key technology scheme current development
分类号 O484 [理学—固体物理]
  • 相关文献

参考文献42

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共引文献21

同被引文献68

引证文献6

二级引证文献12

功能材料与器件学报
2008年 第3期

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