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半导体洁净室内分子级污染物的控制方法 被引量:6

AMC Control Methods for Semiconductor Clean Room
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摘要 对洁净室内分子级污染物(AMC)的分类、取样监测方法以及针对不同制程所采用通用的污染控制方法进行了较为全面的归纳和总结。对不同类型的污染源头进行分类识别,并举出实例,给出了几种控制污染的方法。分析了具体问题的实际情况,讨论了主要的污染源及具体产品的环境控制要求,以找到最合理、有效的处理方法。 The categories, sampling, monitoring and controlling for different processes of airborne molecular contamination (AMC) were summarized. Different types of contamination sources were identified with some examples. Several control methods were given, the specific issues at different actual situations were analyzed, the main contamination sources and the environmental control requirements for were discussed to find out the most reasonable and effective ways to deal with.
作者 周金锋
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期495-496,500,共3页 Semiconductor Technology
关键词 洁净室 分子级污染物 污染控制方法 监测 clean room AMC contamination control method monitoring specific products
  • 相关文献

参考文献5

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  • 5雷霆.洁净室微污染控制新趋势[EB/OL].洁净室微污染控制新趋势.(2007-11-02).http:∥www.esdol.com/info/shownews.8sp?newsid=18431. 被引量:1

共引文献2

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引证文献6

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