高精度X射线双晶衍射仪的原理及其应用被引量：2

Principle and Applications of High Resolution Double crystal X ray Diffractometer

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摘要本文介绍了Ｘ射线双晶衍射仪的特点及其原理，以及利用Ｘ射线摇摆曲线技术在半导体材料研究方面的应用。 \ In this paper, the principle of double crystal x ray diffractometer (DCD) is introduced. The paper also reviews the applications of DCD in analysis of semiconducting materials.

作者卢焕明赵轶叶志镇

机构地区浙江大学硅材料国家重点实验室

出处《材料科学与工程》 CSCD 1997年第4期51-53,共3页 Materials Science and Engineering

关键词双晶衍射摇摆曲线超晶格 X射线 Double Crystal x ray diffraction(DCD), Rocking curves, Superlattice

分类号 O766.4 [理学—晶体学] TH838 [机械工程—仪器科学与技术]

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材料科学与工程

1997年第4期

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