摘要
半导体纳米线和纳米棒及其阵列是具有强量子限制效应的一维纳米结构,它们所具有的新颖光学、电学、磁学和力学性质,使其在发光器件、场效应器件、存储器件和传感器件及其集成技术中具有潜在的应用。本文以生长机制为主线,简要介绍了气相法,即采用金属催化剂的气-液-固（VLS）法和不采用金属催化剂的气-固（VS）法,在ZnO纳米线及其阵列结构制备中的应用,评论了近3~5年内它们在这一领域研究中取得的研究进展。讨论了目前存在的问题,并预测了今后的发展趋势。
Semiconductor nanowires and nanorods are one-dimensional nanostructures with stronly quantum confinement effects. They have potential applications in the light-emitting devices, field effect transistors, memory devices and sensor devices because of their superior optical, electrical, magnetical and mechanical properties. In the paper, a review for the growth mechanism of nanowires and arrays fabricated by vapor phase methods is given, such as vapor-liquid-solid （VLS） method using metals as a catalyst and catalyst-free vapor-solid（VS） method. The important applications of these methods used for the fabrications of ZnO nanowires and arrays are introduced. Finally, some existing problems are discussed.
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期450-455,共6页
Journal of Synthetic Crystals
基金
中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室项目(KLSMS04-9,KSLMS05-3)
关键词
ZNO纳米线
气-液-固法
气-固法
生长机制
ZnO nanowires
vapor-liquid-solid method
vapor-solid method
growth mechanism
