超精密加工的关键技术及发展趋势被引量：2

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摘要超精密加工是在超精密机床设备上利用零件与刀具之间产生的具有严格约束的相对运动对材料进行微量切削,以获得极高形状精度和极低表面粗糙度的加工过程,其精度从微米到亚微米,乃至纳米。它与当代一些主要科学技术的发展有密切的关系,是当代科学发展的一个重要环节。而且,超精密加工技术的发展也促进了机械、液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展。

作者陈树海任文超

机构地区黑龙江工程学院哈尔滨工程大学机电工程学院

出处《汽车工艺与材料》 2008年第3期57-59,共3页 Automobile Technology & Material

关键词超精密加工技术科学技术发展趋势形状精度材料科学表面粗糙度微量切削相对运动

分类号 TG84 [金属学及工艺—公差测量技术] TH16 [机械工程—机械制造及自动化]

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