摘要
日本Covalent Materials公司（原东芝陶瓷）在2007年11月15～16日该公司主办的技术展会上，展示了直径460mm的单晶硅锭。除可用于300mm硅片相应装置的内部零部件外，将来有望用于450mm硅片。此次展出的硅锭，可用作在300mm硅片刻蚀装置上部电极使用的喷淋板及设置在硅片放置台上的环型聚焦环等部件。上述产品该公司已投产，部件直径达400mm。在此基础上开发的大直径硅锭的生长技术是实现450mm硅片的重要基础技术。
出处
《现代材料动态》
2008年第3期10-10,共1页
Information of Advanced Materials
