摘要
将共振隧穿二极管(RTD)的核心结构——双势垒系统与光探测器和调制器的原理相结合可构成共振隧穿光探测器和共振隧穿光调制器。这些器件既保持了RTD高频、高速的特点,同时又具备了光探测器和光调制器原有的功能,可用于光电集成电路。介绍了这种具有代表性的RTD型光电器件的工作原理、器件结构、制造工艺、器件参数测试等,为此类器件在国内的设计和研制奠定基础。
Double barrier system, the core structure of RTD （resonant tunneling diode） combined with photo detector and optical modulator to form the resonant tunneling photodetector and resonant tunneling optical modulator. These devices maintain the advantages of RTD, such as high speed and high frequency and possess the function of photo detector and optical modulation, and can be used in optoelectronic integrated circuits. The operating principle, device structure, fabricating procedure, device parameters and measurement of standared RTD optoelectronic device were introduced systematically to make a basis for design development of these devices.
出处
《微纳电子技术》
2008年第1期6-11,共6页
Micronanoelectronic Technology
基金
安徽省教育厅自然科学资金资助项目(KJ2007B247)
安徽省高等学校青年教师科研资助计划自然科学基金项目(2007jq1086)
安徽工程科技学院青年教师科研自然科学基金资助项目(2005YQ007)
