基于PSD的薄膜场发射极板位置测量及误差分析

A Position Measurement System in Film Field Emission Based on PSD

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摘要文章介绍了一种基于PSD体系结构的微小位移测量系统在场薄膜发射中的应用,详细叙述了该检测系统的测量的原理,根据信号传递过程确定了该方法的误差因素,分析了误差产生的原因,估算了该方法的测量精度,结果表明,采用该方法测量是可行的。

作者高驰名邓耀初丁蛟腾

机构地区西安电子科技大学机电工程学院

出处《仪器仪表与分析监测》 2007年第4期17-19,共3页 Instrumentation·Analysis·Monitoring

关键词 PSD 薄膜发射位置测量误差

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仪器仪表与分析监测

2007年第4期

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