激光合成特殊性能薄膜的新方法被引量：1

A New Synthesis Method for Special Property Film by Laser

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摘要本文主要介绍国内外激光技术在合成金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜、超导薄膜、半导体薄膜等的最新方法. In the paper, the newest methods for syntyesing diamend film, Cubic BN film,superconductor film and semiconductor film at home and abroad are introduced.

作者潘俊德范本惠郑维能李城明李钰

机构地区太原工业大学离子渗金属及热处理研究所太原工业大学基础部

出处《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第5期270-276,共7页 Journal of Optoelectronics·Laser

关键词激光合成金刚石氮化硼超导薄膜

分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]

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光电子．激光

1990年第5期

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