摘要
近年来,人们对声表面波(SAW)在物理和化学传感器方面的广泛应用产生了越来越多的兴趣。声表面波传感器比起那些建立在场效应管、光学方法、电阻、电容调制等技术上的传感器来说还是不很成熟的,但对其基本器件物理特性的充分了解已经表明,声表面波传感器具有巨大的潜力,它几乎可以对所有形式的物理和化学现象进行检测。图1所示为SAW传感器的原理框图,其基本的组成为一个制作在适当基体上的SAW延迟线(谐振器),输入叉指换能器,将电信号转变成声波,沿基体表面传播,再由输出换能器接收转变为电信号输出。
出处
《工业仪表与自动化装置》
1990年第4期62-63,共2页
Industrial Instrumentation & Automation
