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洁净机器人手臂的转动惯量分析及运动控制 被引量:1

Inertia Analysis and Motion Control of a Clean-room Manipulater
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摘要 针对洁净机器人手臂的转动惯量对系统动态性能的影响,在利用动能公式分析得到其转动惯量与位置关系的基础上,提出了一种位置PI闭环加前馈参数整定的控制方法。该控制方法是由位置值实时得到转动惯量,再由转动惯量来实时整定PI参数。仿真结果表明了该控制方法能有效抑制转动惯量的变化对系统动态性能的影响,且简单可行。 Aiming at the influence of the inertia of a clean-room manipulater on the system performance, based on creating the relation of inertia and position using the kinetic energy formula, the paper presents a kind of control strategy with position PI closed loop and feed-forward paraneter tuning.The control strategy is that gaining inertia real-time from position,and tuning paraneter PI using the inertia, The simulation results show that it Can not only restrain the influence of the variant inertia on the system performance efectively, but also be implemented more easily.
作者 于雷 徐方
出处 《组合机床与自动化加工技术》 2007年第3期34-36,40,共4页 Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique
基金 超大规模集成电路制造装备重大专项(2005AA4Z5022)
关键词 洁净机器人 转动惯量 PI 前馈 参数整定 clean-room robot Inertia PI feed-forward paraneter tuning
  • 相关文献

参考文献7

二级参考文献18

  • 1[3]Landau ID. Adaptive Control[M].New York: Springer,1998. 被引量:1
  • 2[4]A strom KJ, Hagglund T. Automatic Tuning of PID Controllers[M].NC: Instru Soc of Ame,1998. 被引量:1
  • 3[5]E Chiricozzi, F Parasiliti, M Tursini. Fuzzy Self-tuning PI Control of PM Synchronous Motor Drives[J].Int. J. Electron,1996,80(2):211~221. 被引量:1
  • 4陈伯时,电力拖动自动控制系统,1996年 被引量:1
  • 5Huang C C,ISA Trans,1994年,33卷,147页 被引量:1
  • 6吴广玉,系统辨识与自适应控制,1987年 被引量:1
  • 7吴凯,电工电能新技术,19卷,1期,6页 被引量:1
  • 8赵辉,电工电能新技术,19卷,2期,26页 被引量:1
  • 9侯伯享,所新.VHDL硬化描述语言与数字逻辑电路设计.西安:西安电子科技大学出版社,1999 被引量:1
  • 10冯光,黄立培,喻辉洁,周友,白冰.异步电机柔性控制系统[J].电工电能新技术,1998,17(3):1-4. 被引量:4

共引文献64

同被引文献5

  • 1丛明,杜宇,沈宝宏.硅片传输单元洁净系统的研制[J].半导体技术,2006,31(9):656-659. 被引量:3
  • 2丛明,沈宝宏,于旭.面向IC制造的净化机器人[J].高技术通讯,2007,17(4):395-400. 被引量:8
  • 3C. Tsuzuku. The trend of robot technology in seticonductor and LEO industry [ J ]. Industrial Robot : AnInternatiOnal Journal, 2001,28(5) :406 -413. 被引量:1
  • 4Cong M, Zhou Y M, Jiang Y. An automated wafer-handling system based on the integrated circuit equipment[ J]. In:IEEE International Conference on Robotics and Biomimetics, HongKong and Macao, China, 2005:240 - 245. 被引量:1
  • 5M. Kanetomo, H. Kashima,T. Suzuki. Wafer - tran sferrobot for use in ultrahigh vacuum [ J]. J. Vac. Sci. Technol, 1997,15 (3) :1385 - 1388. 被引量:1

引证文献1

二级引证文献1

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