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分析1/4波片对椭圆偏振法测量误差产生的原因被引量：1

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摘要主要讨论1/4波片误差对椭偏法测量薄膜厚度及折射率等参量的影响,质量理想的波片以及方位角的误差对PCSA系统测量结果的影响。

作者温淑珍李怀亮张全禹

机构地区绥化学院物理与电子信息系

出处《黑龙江科技信息》 2007年第07X期42-42,共1页 Heilongjiang Science and Technology Information

关键词波片椭偏法偏振光

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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2007年第07X期

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