摘要
在理论上分析了截面为矩形、三角形和余弦形的划痕的衍射花样的相似性，并在此基础上提出了一种测定划痕宽度的衍射光强取样分析法。本文还就消除光阑衍射光及粗糙度散射光的干扰提出了行之有效的措施。
The similarity of scratches diffraction patterns with different cross section, rectangular, triangular and cosinoidal, is discussed. A new method, sampling the diffracted light, to measure the scratch width is proposed.
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期351-356,共6页
Acta Optica Sinica
关键词
衍射光强分布
实际宽度
等效线宽
diffraction pattern, real width, line equivalent width.
