CNT—FED阴极结构的高精度制作工艺

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摘要碳纳米管（CNT）场致发射的阴极结构通常用丝网印刷和光刻的工艺制作。此工作中，为提高制作精度和降低制作成本，用现有的CNT层作底部曝光的掩模版，用感光性介质浆料将电介质上的孔精确地直接制作在CNT发射体之上，从而避免了烧结收缩和光刻偏移引起的误差，本文以10＂一般三级结构的FED作为例子说明此工艺。

作者李勇军（译）

出处《显示器件技术》 2007年第1期25-27,共3页

关键词制作工艺阴极结构 CNT FED 高精度工艺制作丝网印刷场致发射

分类号 TN873 [电子电信—信息与通信工程]

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