摘要
综述了国内最先进的第5代TFT-LCD生产线的取向膜工艺。并探讨了各取向膜工艺参数对取向膜厚度和预倾角大小的影响,从而根据产品设计需要改变工艺参数指导实际生产。
TOverview the oriented polyimide layer technology in the 5th generation TFT-LCD production lines .This article analyzes the parameters＇influence on film thickness and pretilt angle in the oriented polyimide layer technology. And it will be a reference to the actual production.
出处
《现代显示》
2006年第9期20-23,12,共5页
Advanced Display
关键词
取向层
聚酰亚胺膜
涂布
摩擦
膜厚
预倾角
oriented layer
polyimide film
coating
rubbing
film thickness
pretilt angle
