基于聚焦探测法的非接触表面形貌测量仪的研究被引量：3

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摘要介绍了一种基于光驱聚焦探测技术的光触针式表面形貌测量系统。测量光束聚焦于被测表面上,当被测表面高度变化时,Z向精密位移工作台在步进电机和压电陶瓷的粗、精两级驱动下,使得工件沿垂直方向移动,让焦点始终聚焦在被测表面上,工作台的位移反映了工件表面高度的变化,该位移量由衍射光栅干涉位移传感器测得。该系统的垂直分辨力为1nm,垂直测量范围为2mm左右。

作者孙艳玲谢铁邦

机构地区湖北襄樊学院机械工程系华中科技大学机械学院仪器系

出处《计量技术》 2006年第7期5-8,共4页 Measurement Technique

关键词聚焦探测表面形貌测量 Z向精密位移工作台压电陶瓷衍射光栅

分类号 TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]

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