纳米压印模板需要高质量的检测技术被引量：1

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摘要纳米压印光刻经学术和行业团体近十年的研究之后，已逐渐开始对半导体行业产生引导作用。简单地讲，纳米压印是把一个1×的模板压进一个柔性层，从而在衬底上制作图形。斯坦福大学的电子工程教授Fabian Pease说：“它引人注意之处是具有半导体行业现在非常感兴趣的分辨率，即远低于100nm的线条，而在这个范围内，如果无法用纳米压印光刻来实现，光学光刻将变得很昂贵。”

作者 Aaron Hand

机构地区 Semiconductor Intemational

出处《集成电路应用》 2006年第3期13-13,共1页 Application of IC

关键词纳米压印压印模板检测技术半导体行业质量压印光刻斯坦福大学电子工程光学光刻柔性层

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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