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划片机气静压电主轴热态特性研究

Study on Air Spindle's Thermal Characteristic in the Dicing Saw
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摘要 从划片机气静压电主轴的工作机理出发,研究主轴电机的功率损耗发热、空气轴承的气膜剪切摩擦发热;根据分析结果提出减小主轴发热和加强散热的措施。 According to air spindle's work principle, this paper studies spindle's heat-up of build-in motor's power loss and the air layer's shear friction; On the basis of above studies, this paper presents some ideas to decrease the air spindle's heat-up and increase spindle's heat emission,
作者 王明权
出处 《电子工业专用设备》 2006年第7期24-28,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词 气静压电主轴 功率损耗 空气轴承 气膜剪切摩擦 主轴散热 Air spindle Power loss Air bearing Air layer's shear friction Spindle's heat emission
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