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透明导电氧化铟锡薄膜的特殊应用
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摘要
阐述了氧化铟锡（ＩＴＯ）薄膜的气敏特性及其导电扩散阻挡作用，对ＩＴＯ气敏薄膜及扩散阻挡层薄膜的制备过程、测试方法和应用进行了研究讨论．
作者
刘隆鉴
章壮健
机构地区
四川工业学院物理实验室
复旦大学材料科学系
出处
《物理》
CAS
北大核心
1996年第7期439-444,共6页
Physics
关键词
薄膜
气敏特性
扩散阻挡层
超导
氧化铟锡
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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