摘要
为研究氧化钒薄膜在非致冷红外微测辐射热计中的应用,综述了制备工艺等诸多因素对氧化钒热敏特性的影响,对其机理进行了探究,结果表明掺杂和新的制备工艺是调整氧化钒热敏特性较为有效的方法。
In order to study the application of vanadium oxide thin films in the uncooled IR microbolometer, the factors of effects on the thermally sensitive properties of vanadium oxide thin films are summarized, and the mechanism is researched into. The results suggest that adulteration and new technology are the best methods for the adjusting of the thermally sensitive properties of vanadium oxide thin films.
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第5期15-17,共3页
Materials Reports
基金
国家"863"资助项目(No.2002AA325080)
国家自然科学基金重大研究计划项目(90201028)
湖北省教育厅科学研究计划项目
关键词
氧化钒薄膜
电阻温度系数
热敏特性
vanadium oxide thin films, TCR, thermally sensitive properties
