MOCVD技术制备ZnS∶MnACTFEL的研究现状和前景

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摘要综述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）技术制备ＺｎＳ∶Ｍｎ交流薄膜电致发光（ＡＣＴＦＥＬ）器件的发展历史及研究现状，对各种改进技术和使用的源材料进行了比较，并指出进一步的研究方向。

作者赵丽娟钟国柱杨宝钧

机构地区中国科学院长春物理研究所

出处《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期222-227,共6页 Chinese Journal of Rare Metals

关键词薄膜电致发光化学气相沉积硫化锌锰

参考文献1

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稀有金属

1996年第3期

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