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单波长光激励SPW测定金属膜厚度与介电常数

Measurement of the Thickess and Dielectric Constants of Metal Films by Surface Plasma Wave Excited with One Wavelength
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摘要 采用衰减全反射(ATR)技术,单波长激励金属膜表面等离子激元波(SPW)的共振吸收峰,在考虑金属膜表面粗糙度的情况下,用非线性最小二乘曲线拟合同时确定出了金属膜厚度与介电常数,并在另一波长下获得验证。 In this paper, the surface plasma wave(SPW)on the interface of medal-electricmedium was excited with one wavelength by using the angle scanning ATR method and thethickness and dielectric constants of metal films were measured by a nonlinear least-squarecure-fitting method.
出处 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期338-342,共5页 Chinese Journal of Lasers
关键词 等离子激元波 金属薄膜厚度 介电常数测定 surface plasma wave,ATR technique,dielectric constants, cure-fitting
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