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扫描探针刻蚀技术的机理分析及进展 被引量：2

The Current Development and Mechanisms of Scanning Probe Lithograph
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摘要 文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展,并介绍了扫描探针刻蚀加工机理。 This paper summarized the current development of scanning probe lithography and introduced the mechanisms of forming nanometer structure.
作者 蒋洪奎 范真 姚汤伟 钟俊坚 朱春耕
机构地区 江苏大学机械学院微纳米技术研究中心 浙江师范大学
出处 《新技术新工艺》 2006年第1期86-88,共3页 New Technology & New Process
关键词 扫描探针 刻蚀加工 机理 进展 scanning probe, lithography, mechanism, development
分类号 TH742.9 [机械工程—光学工程]
  • 相关文献

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共引文献5

同被引文献32

引证文献2

二级引证文献1

新技术新工艺
2006年 第1期

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