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微加工准分子激光器被引量：1

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摘要微加工准分子激光器准分子激光器用作材料微加工和表面修整中的光刻紫外辐射源。目前，世界上有十多家公司和企业致力于准分子激光器的设计生产。业已广告亮相的激光器类型达７０多种。１９９２年的销售量，达到约３５００万美元［‘］。业已生产几种激光器的辐射波长：１...

作者张粹伟晴天

出处《激光与光电子学进展》 CSCD 1996年第1期15-19,共5页 Laser & Optoelectronics Progress

关键词准分子激光器微加工

分类号 TN248.22 [电子电信—物理电子学]

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相关文献

同被引文献2

1激光与红外，1996年，26卷，4期，279页被引量：1
2申家镜，中国激光，1996年，23卷，11期被引量：1

引证文献1

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激光与光电子学进展

1996年第1期

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