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准分子激光用于微加工

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摘要在各种不同的激光中,Nd;YAG激光用作电子工业微加工工具历史最长。最近,由于准分子激光技术的发展,促进了新型准分子微加工工具的发展。这种准分子激光工具可用于包括半导体、医学。

作者宪华

出处《国外激光》 CSCD 1989年第5期33-35,共3页

关键词准分子激光微电子材料加工材料

分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]

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国外激光

1989年第5期

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