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用于弹性流体动力润滑的钛膜温度传感器的研制被引量：1

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摘要介绍制作钛膜温度传感器的工艺过程以及绝缘膜、敏感膜、保护膜的沉积方法。测试了传感器的温度响应性能，并装于双圆盘机上进行弹性流体动力润滑实测，表明传感器对温度具有较好的分辨率反响应性；圆盘的滚动线速度增大，油膜温度升高。

作者董光能谢友柏虎刚

机构地区西安交通大学润滑理论及轴承研究所

出处《真空科学与技术》 CSCD 1995年第3期207-210,共4页 Vacuum Science and Technology

基金国家自然科学基金

关键词弹性流体动力润滑薄膜温度传感器钛膜

分类号 TB43 [一般工业技术] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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真空科学与技术

1995年第3期

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