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电子束直接曝光机简介被引量：1

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摘要电子束直接曝光机简介郑国强（甘肃平凉市电子部第４５研究所，７４４０００）１引言电子束曝光技术是集光、机、电、计算机和超高真空技术为一体的综合性技术，它可以把亚微米工艺的集成电路和器件图形直接光刻在Ｓｉ和ＧａＡｓ等圆片上。电子束直接曝光设备在军事微电子...

作者郑国强

机构地区甘肃平凉市电子部第

出处《微细加工技术》 1995年第3期72-76,共5页 Microfabrication Technology

关键词电子束曝光机曝光光刻半导体器件

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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微细加工技术

1995年第3期

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