椭偏仪测量粗糙面薄膜的厚度和折射率的研究被引量：6

Study on Measurement of Thickness and Refractive Index of Rough Surface Films by Using Euipsametry

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摘要本文阐述了漫反射系数和粗糙面薄膜的厚度，寻出了漫反射椭偏测量术的方程，实用中测量了湿敏元件的湿敏薄膜厚度。 Coefficient of diffuse reflection and thickness of rough surpace films in expound and euip-sometric equation of diffuse reflection is deduced in this paper. Film thickness of humidity sensor is mensured by an example.

作者刘崇进沈家瑞李凤仙

机构地区华南理工大学

出处《光学技术》 CAS CSCD 1995年第3期18-20,共3页 Optical Technique

关键词漫反射粗糙面椭偏仪薄膜厚度偏振测量 diffuse reflection,rough surface,ellipsometry

分类号 O484.41 [理学—固体物理] TH744.21 [理学—物理]

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