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将表面分析技术推向微区分析

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摘要上个月份,我们给出了一些如何运用表面分析技术解决生产过程中遇到的问题的方法。但如果需要分析的材料是集中在一小块区域上的,有些规律则不适用。现在,我们将详细论述各种技术的操作和各种分析仪器的结构,读者可以自己选择最适合您要解决的问题的方法。

作者 Tinothy B.Vander Wood 毕宏达

出处《微电子学》 CAS CSCD 1989年第3期74-77,共4页 Microelectronics

关键词表面分析微区分析材料半导体

分类号 TN307 [电子电信—物理电子学]

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微电子学

1989年第3期

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