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新型表面分析技术——扫描隧道显微镜和原子间力显微镜

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摘要本文介绍的新型表面分析技术,即,扫描隧道显微镜和原子间力显微镜,对于揭示原子内部结构和各种物理现象很有用,比普通的电子探针(它主要是测定微区成分)更有用,是结构研究和表面科学研究的新工具。

作者张丽英

出处《材料开发与应用》 CAS 1992年第1期28-38,共11页 Development and Application of Materials

关键词扫描隧道显微镜表面分析

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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1孙桂静,张鸿海.扫描隧道显微镜在微电子工业中的应用[J].LSI制造与测试,1992,13(4):11-12.
2扫描隧道是微镜和量子器件[J].光学精密机械,1997(1):6-7.
3夏国鑫.扫描隧道显微镜和原子力显微镜[J].光学仪器,1992,14(4):28-34.
4沙维.扫描隧道显微镜在材料科学中的新应用[J].材料科学与工程,1992,10(2):44-44.
5Ben Schiflebein,张成方.表面分析技术在生产中的应用[J].微电子学,1989,19(3):69-73. 被引量：1
6江瑞生.现代表面分析技术在半导体技术中的应用[J].上海金属（有色分册）,1993,14(5):37-45. 被引量：2
7郭宝增.扫描隧道显微镜(STM)在纳米结构制造中的应用[J].半导体光电,1992,13(3):213-218.
8田春生.表面分析技术在半导体器件研发与制造中的地位[J].中国集成电路,2005,14(6):62-65.
9王亦曼,黄林,白丽芳.用表面分析技术对显像管电极清洗工艺的研究[J].真空电子技术,1990,3(3):21-25.
10刘安伟,禹国强,杨勇,胡小唐.扫描隧道显微镜图像重建的研究[J].电子显微学报,1999,18(1):115-118.

材料开发与应用

1992年第1期

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