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MEMS微装配机器人系统的研究 被引量:2

Current Situation and Trend of Microassembly Robot for MEMS
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摘要 首先总结了国内外微装配机器人系统及其关键技术的研究现状,并列举了部分应用实例。然后在分析微装配特点的基础上,提出了在显微视觉、多传感器信息融合控制以及微夹持器设计的解决方案。最后展望了微装配机器人及其关键技术的发展趋势。 The increasing of functionality of MEMS system is promoted by microassembly.In this paper, the current situation of the microassembly robot and key techniques for micromanipulation is presented,and some corresponding application cases in different fields are introduced.Moreover,characteristics of microassembly,the techniques of microvision,multisensor data fusing, and microgripper are analyzed.The development trends of the microassembly robot and the microassembly techniques in the future are discussed.
机构地区 哈尔滨工业大学
出处 《机械与电子》 2005年第3期7-10,共4页 Machinery & Electronics
基金 "八六三"MEMS重大专项基金资助项目(2002AA404450)
关键词 MEMS 微装配机器人 关键技术 MEMS microassembly robot key techniques
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