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非接触体积测量实验系统 被引量:6

Non-contract volume measuring system
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摘要 将物体体积参量测量转变成气体压力测量,可以实现体积非接触测量. 本文设计了非接触体积测量实验系统,并分析了系统测量的分辨率及精度. This paper presents a non-contract method to measure volume of solid with any shape, which transfers volume parameter into gas pressure parameter. The intelligent non-contract volume measuring system and relevant software has been developed. And the resolution and accuracy of measurement are analyzed.
出处 《物理实验》 2005年第3期39-40,43,共3页 Physics Experimentation
关键词 体积 非接触测量 扩散硅压力传感器 volume non-contract measurement silicon pressure sensor
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引证文献6

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