射频磁控溅射制备铁电PLZT薄膜的研究被引量：3

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摘要由于铁电薄膜具有一系列的特殊性质,如铁电开关特性、压电效应、热释电效应、电光和声光效应、非线性光学效应等,因而在微电子学及光电子学领域中得到了广泛的应用,特别是以铁电薄膜为基础的铁电随机存取存储器的开发成功,显示出了高速度、高密度、非挥发性及抗辐射性等优良性能,更进一步促进了对铁电薄膜的研究.同时,由于薄膜制备技术的发展,

作者卢德新李佐宜黄龙波林更琪

机构地区华中理工大学固体电子学系

出处《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第13期1177-1179,共3页 Chinese Science Bulletin

关键词射频磁控溅射薄膜 PLZT 铁电陶瓷

分类号 TQ174.756 [化学工程—陶瓷工业]

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参考文献2

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科学通报

1994年第13期

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