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扫描电镜中束径与束流关系的研究被引量：1

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摘要在扫描电子显微镜中,当被加速而获得能量的电子束入射到样品表面上,便会发生电子与物质间的相互作用产生各种信号。这些信号是二次电子、背散射电子、可见光、X射线、俄歇电子等。利用这些信号就可获得有关样品的各种信息。而入射电子的约90%的能量转化为热能。

作者李萍徐晓华胡问国

机构地区昆明物理研究所云南大学

出处《数据采集与处理》 CSCD 1989年第A10期55-56,共2页 Journal of Data Acquisition and Processing

关键词电子显微镜束径束流分辨率

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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数据采集与处理

1989年第A10期

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