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日本大型高密度刻线光栅刻划机概述

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摘要 1.引言随着同步辐射应用和空间天文学领域的发展,需要高性能高质量的新型光谱仪,而这类光谱仪又要求大面积,高刻划密度的光栅,为此,日本日立有限公司中心研究室研究制成功了大型高密度刻线光栅刻划机。

作者王春霞

机构地区中国科学院长春精密机械研究所

出处《光机电世界》 1994年第6期1-5,共5页

关键词光谱仪高密度刻线光栅刻划机

分类号 TH744.1 [机械工程—光学工程]

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光机电世界

1994年第6期

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