非互易律光致抗蚀剂与负型黑底(续完)

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摘要 12 黑底制造工艺 12.1 BM制造工艺流程 BM制造工艺流程如图5所示。 12.2 BM制造设备概述包括黑底在内的所有制造设备,对于制造厂往往是千差万别的,但就制造目的和产量的多少,大致可以分成三种:一是适应于大批量生产的制造设备,其中根据自动化程度的高低又可分为全自动化涂屏机和半自动化涂屏机。

作者蒋宗礼

出处《真空电子技术》北大核心 1993年第6期1-6,共6页 Vacuum Electronics

关键词彩色显象管负型黑底制造工艺光致抗蚀剂

分类号 TN141.32 [电子电信—物理电子学] TN105.2

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真空电子技术

1993年第6期

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