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Nd：KGW激光掩膜微加工设备

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摘要该设备是以Nd：KGW激光器为光源的掩膜微加工技术设备，为国际创新。它可广泛用于微电子器件、介入医疗器械、微机械、微标识、特殊异型孔加工、金刚石等超硬材料加工等高新技术领域。

出处《科技开发动态》 2004年第12期24-24,共1页 R&D Information

关键词 Nd:KGW激光器掩膜微加工加工设备微电子器件医疗器械

分类号 TH744.5 [机械工程—光学工程]

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2004年第12期

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