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液晶显示器的替代ODS清洗技术研究

Study on the substitute-ODS cleaning technology of the liquid crystal display
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摘要 液晶显示器行业目前一般采用ODS溶剂清洗 .对一种新型水基替代ODS清洗技术进行了研究 ,利用X射线光电子谱的测试方法 ,比较用两种清洗技术清洗过的样品 ,结果表明 ,新型替代清洗技术优于传统ODS清洗技术 . The liquid crystal display used to be cleaned with ODS. A new aqueous substitute-ODS cleaning technique is reported. The cleaning effects with two techniques are compared with each other by X-ray photoelectron spectra. The results show that the aqueous substitute-ODS cleaning technique is better than the traditional ODS cleaning technique.
出处 《山东大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期105-107,共3页 Journal of Shandong University(Natural Science)
基金 国家自然科学基金 (60 1760 3 2 ) 山东大学跨学科预研基金 山东大学青年科学基金资助项目
关键词 液晶显示器 替代ODS 清洗技术 X射线光电子谱 liquid crystal display substitute-ODS cleaning technology XPS
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