空气中STM的高精度粗糙度测量

下载PDF

导出

摘要表面粗糙度是摩擦学中描述物体表面特征的重要参数.现有的表面粗糙度测量技术在水平或垂直精度上经常有一定的局限性,而且费时,有时,导致在测量过程中试件不良变化.相反,应用隧道扫描显微镜测量时精度高、快速、无损,使用廉价方便.本文的目的是向摩擦界介绍这一新技术.本文将描述有关隧道扫描显微镜的设计和在空气中物体表面进行普通和高精度粗糙度测量的一些设想.还将通过一些应用实例阐明技术细节,对本技术的局限性及解决办法也作了讨论.

作者 leer-Shen Lin 姜莉

机构地区哈尔滨科学技术大学

出处《哈尔滨科学技术大学学报》 1993年第2期106-111,共6页

关键词表面粗糙率测量 STM

分类号 TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]

引文网络
相关文献

1王家军,杨志刚,胡达新,方鸿生.合金相的扫描隧道显微镜研究[J].理化检验（物理分册）,1994,30(6):9-12. 被引量：1
2李瑛,曹楚南,林海潮,朱一帆,李大钢,施兵兵,万俐,徐飞,陶保成.AMT在铜表面形成保护膜的STM研究[J].物理化学学报,1998,14(4):365-368. 被引量：18
3李军.触针式三维粗糙度测量[J].计测技术,1990(6):34-39.
4吴秀林.窄小表面的粗糙度测量[J].世界标准化与质量管理,1996(4):33-34.
5张泰昌.齿面粗糙度测量的研究[J].航空计测技术,1996,16(4):16-19.

哈尔滨科学技术大学学报

1993年第2期

浏览历史

内容加载中请稍等...

空气中STM的高精度粗糙度测量

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史