弱信号检测技术在电声扫描显微镜研制中的应用

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摘要电声扫描显微镜是近年发展起来的一种新型检测成像工具。由于它的成像原理基于微观热学与弹性变化,因而它具有常规扫描显微镜无法比拟的优点:试样的非破坏性亚表面剖面成像。电声扫描显微镜也是高新技术结合的产物,它的产生也得力于弱信号检测技术的发展。本文简要介绍了电声扫描电镜的工作原理、结构及其应用,侧重介绍了弱信号检测技术在该仪器研制中的应用。

作者殷庆瑞惠森兴江福民张慧静王通

机构地区中国科学院上海硅酸盐所

出处《数据采集与处理》 CSCD 1992年第S1期80-83,共4页 Journal of Data Acquisition and Processing

关键词扫描显微镜弱信号检测亚表面锁相放大器工作原理压电陶瓷传感器声信号检测频率稳定二次电子像调制系统

分类号 TP274.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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