光特性测量及设备

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摘要 O431 94021393多层膜光学常数的迭代椭偏测量研究=A study ofthe interactive elliptic-polarized measurementof optical parameters of multi-layeredthin films[刊,中]/张维佳(北京航空航天大学)//北京航空航天大学学报.-1993,(4).-1～11论述了多层薄膜光学常数的椭偏测量原理以及测量方法。使测量的重复性和精确度都大大提高,用这种方法精确测量了相变光盘记录介质膜晶态下的光学常数。

出处《中国光学》 EI CAS 1994年第2期82-82,共1页 Chinese Optics

关键词薄膜光学常数结构优化设计光盘记录介质多层膜相变光盘精确度特性测量北京航空航天大学迭代半导体

分类号 O484.41 [理学—固体物理]

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