摘要
针对具有七自由度化学机械抛光传输机器人(CMPTR),运用拉格朗日方程和牛顿力学相结合的方法,建立非线性系统CMPTR的动力学模型.对模型进行泰勒级数展开,并线性化得CMPTR状态空间方程,便于使用LQ最优控制对其进行控制.其中性能指标是由各状态量的累积运动误差与控制量的代数和构成,通过寻找一条最优控制律使其最小,从而使CMPTR的精度和控制能量消耗都取得满意效果.仿真实验验证了系统的稳定性,也验证了系统建模和LQ控制器设计的合理性和有效性.
针对具有七自由度化学机械抛光传输机器人(CMPTR),运用拉格朗日方程和牛顿力学相结合的方法,建立非线性系统CMPTR的动力学模型.对模型进行泰勒级数展开,并线性化得CMPTR状态空间方程,便于使用LQ最优控制对其进行控制.其中性能指标是由各状态量的累积运动误差与控制量的代数和构成,通过寻找一条最优控制律使其最小,从而使CMPTR的精度和控制能量消耗都取得满意效果.仿真实验验证了系统的稳定性,也验证了系统建模和LQ控制器设计的合理性和有效性.
出处
《华中科技大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第S2期12-16,共5页
Journal of Huazhong University of Science and Technology(Natural Science Edition)
基金
国家杰出青年科学基金资助项目(50825501)
国家自然科学基金创新研究群体资助项目(51021064)
国家科技重大项目(2008ZX02104-001)
中国博士后科学基金资助项目(510424)
关键词
传输机器人
化学机械抛光
动力学建模
线性二次型
最优控制
transfer robot
chemical mechanical polishing
dynamic model
linear-quadratic
optimal control
