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热处理对氧化钨薄膜结构和电致变色性能的影响

Influence of Annealing on Micro-structure and Electrochromic Properties of WO3 Thin Film
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摘要 电致变色(EC)材料在外加电压作用下能可逆的改变其光学性能.近年来由于其在光调节装置方面的应用潜力,引起了广大研究人员的兴趣.其中氧化钨是典型的电致变色材料.在本文中,电致变色氧化钨薄膜由电子束蒸发WO3粉末的方法沉积在ITO透明导电玻璃上,所得薄膜在空气气氛中经(250~550)℃,(1~4)h不同的热处理,处理后的薄膜用XRD观察其微观结构的变化,电致变色性能则由电化学方法测试.讨论了热处理温度变化对薄膜结构和电致变色性能的影响.
作者 饶峰 韩高荣
机构地区 浙江大学材料系
出处 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期46-49,共4页 Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
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