摘要
在等离子体增强化学气相淀积(PECVD)系统中,采用等离子体氧化和等离子体氮化的方法,在单晶硅表面上成功制备厚度小于10nm的超薄硅基介质膜。通过X射线光电子谱(XPS)分析了超薄介质膜的化学结构,利用椭圆偏振仪测量了厚度以及折射率,同时对超薄介质膜进行了电容电压(C-V)和电流电压(I-V)特性的测量,研究其电学性质,探讨了C-V测量模式对超薄介质膜性质表征的影响,最后对两种介质膜的优缺点进行了比较。
Ultra thin dielectric films(thickness<10 nm)based on Si wafer are fabricated by using the plasma oxidation and nitridation techniques in a plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD)system.The chemical composition,thickness,and refractive index are characterized by X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)and ellipsometer respectively.The electronic properties are investigated by capacitance-voltage(C-V)and current-voltage(I-V)measurements.The advantages and disadvantages of these two kinds of Si based ...
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期149-153,共5页
Research & Progress of SSE
基金
国家自然科学基金(批准号:90301009
60571008
60471021)
国家重点基础研究发展规划(973)(批准号:2006CB932202)
关键词
等离子体氧化
等离子体氮化
电容电压特性
超薄栅介质层
plasma oxidation
plasma nitridation
capacitance voltage characteristic
ultra-thin dielectric film
