微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究被引量：3

Design Investigation on Micro Thermal Sensor Film Resistor

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摘要应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法.

作者刘奎苑伟政邓进军马炳和姜澄宇

机构地区西北工业大学

出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期202-204,共3页 China Mechanical Engineering

基金国家自然科学基金资助项目(90305017) 航空科学基金资助项目(04I53074,03I53066)

关键词微型传感器热敏元件薄膜电阻电阻温度系数

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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