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高性能95BeO陶瓷材料的研究
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摘要
利用95BeO粉体为原料,添加适当的Mg-Al-Si氧化物助烧剂,利用改进后的电子陶瓷工艺在空气中适当的温度进行烧结出了结构均匀、致密,性能满足目前GB/T5593国标的99BeO陶瓷材料。
作者
钟朝位
张树人
李志刚
王海荣
田立宏
储齐晓
机构地区
电子科技大学电子薄膜与集成器件重点实验室
国营
出处
《真空电子技术》
2007年第4期77-78,共2页
Vacuum Electronics
关键词
氧化物助烧剂
烧结
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
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真空电子技术
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